Сканирующий зондовый микроскоп AIST SmartSPM

Самый быстрый на мировом рынке СЗМ с полем сканирования 100 мкм.

  • полностью автоматическая настройка прибора – менее 5 минут от включения до сканирования;
  • уникальный быстрый сканер с превосходными метрологическими характеристиками;
  • ИК лазер с длиной волны 1300 нм для измерения фоточувствительных образцов и упрощения интеграции прибора со спектральными методами измерений.

Сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM является первым в мире полностью автоматизированным прибором для высокоскоростных измерений свойств материалов на наноуровне, измерений со сверхвысоким разрешением и метрологических измерений во всех АСМ и СТМ режимах.

Измерительные методики
Контактная и полуконтактная АСМ на воздухе и в жидкости, бесконтактная АСМ, метод фазового контраста, метод латеральных сил, динамическая силовая микроскопия, МСМ, методика зонда Кельвина, сканирующая емкостная микроскопия, электросиловая микроскопия, микроскопия пьезоотклика, силовая спектроскопия, нанолитография и наноманипуляции, СТМ, микроскопия токов растекания, измерение вольт-амперных характеристик.

Автоматизация
Автоматическая настройка регистрирующей системы освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настройки вне зависимости от его опыта. Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование. В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы программа произвела полную настройку системы, подвела зонд к поверхности образца и начала сканирование. Минимальное время обучения, а также возможность быстрого старта измерений (менее 5 минут) делает SmartSPM идеальным решением для учебных заведений, где прибор работает в многопользовательском режиме.

Оптический доступ к зонду и образцу
Наличие оптического доступа к образцу не только сверху, но и сбоку позволяет воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и собирать рассеянный свет с поверхности образца, что особенно важно для проведения ГКР/TERS экспериментов.

Регистрирующая система с ИК лазером
Позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы чувствительные к видимому свету. В оптическом микроскопе лазер системы регистрации не виден, что облегчает визуальный контроль области сканирования.

Высокоскоростное сканирование
Быстрый сканер с очень высокими резонансными частотами позволяет проводить сканирование на скоростях до 10 раз выше по сравнению с большинством микроскопов на рынке. Малая нелинейность и низкие шумы датчиков обратной связи позволяют использовать сканер для метрологических приложений. Высокая стабильность в сочетании с высокочастотным сканером позволяет получать атомарное разрешение на сканере с максимальным полем 100 мкм. Термокомпенсация сканера обеспечивает получение низких тепловых дрейфов.

Улучшенный алгоритм контроля обратной связи и фазовой задержки
Данный алгоритм позволяет осуществлять сканирование с более высокой скоростью без перескоков и проблем с генерацией сканера, устраняет искажения изображения и ошибки при зуммировании. Существенно уменьшает время установления сигнала на скачок по X, Y и Z направлениям, а также снижает ошибку отставания по фазе в сотни раз вдоль оси X и Y.

Модульный цифровой контроллер
Модульный дизайн контроллера обеспечивает возможность расширения и адаптации контроллера в соответствии с задачами пользователя, а также проведение обновления уже установленных контроллеров. Высокоскоростной DSP обеспечивает синтез полностью цифровых PID обратных связей по трем осям с возможностью расширения до 9 каналов управления для обеспечения интеграции с другими методиками измерений. Имеется возможность подачи модуляции на зонд и X, Y и Z оси сканера. Наличие выхода напряжения смещения. Цифровые входы/выходы и аналоговые входы для интеграции с внешними устройствами.

Гибкость программного обеспечения
Благодаря встроенным в программное обеспечение языку программирования Lua и макроязыку для программирования DSP пользователь имеет возможность адаптировать прибор под свои специфические задачи.

Параметры Значения

Максимальный размер образца (ДхШхВ), мм

40 х 40 х 15

Контроллер:

Количество синхронных детекторов

2

Цифровой генератор
– количество, шт.
– разрядность, бит
– диапазон, МГц


6
32
до 5

Частота ЦСП, МГц

<300

Интерфейс

USB 2.0

АЦП
– частота, кГц
– разрядность, бит
– количество каналов


500
18
20

Высоковольтные усилители
– напряжение, В
– шум, ppm


-5…+120
не более 0,4

Напряжение смещения (AC, DC), В

-10…+10

Напряжение смещения в режиме электрической нанолитографии, В

-50…+50

Частотный диапазон напряжения, МГц

0 ÷ 2

Сканер:

Диапазон сканирования, мкм

100 x 100 x 15 (±10%)

Тип сканирования

образцом

Нелинейность по осям XY, %

не более 0,04

Нелинейность по оси Z, %

не более 0,04

Шумы (СКО), нм
– по XY в полосе 200 Гц с включенными датчиками, В
– по XY в полосе 100 Гц с выключенными датчиками
– шумы датчика Z в полосе 1000 Гц


0,1
0,02
< 0,04

Цифровая обратная связь

по осям X, Y и Z

Резонансная частота по XY, без нагрузки, кГц

7

Резонансная частота по Z, без нагрузки, кГц

15

Моторизованное позиционирование образца
– диапазон, мм
– разрешение, мкм


5
1

АСМ головка:

Длина волны лазера, нм

1300

Шум регистрирующей системы, нм
– головка HE001
– головка HE002


< 0,03
< 0,1

Оптическая система (видеомикроскоп с XY позиционером):

Головка HE001
– положение объектива сверху
– оптическое разрешение, мкм
– поле зрения, мкм


10х, NA = 0,28
1,0
от 900 до 140

Головка HE002
– положение объектива сверху
– оптическое разрешение, мкм
– поле зрения, мкм


10х, NA = 0,7
0,4
от 100 до 50

Рекомендуемые материалы


2 Отзыв сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM-1000
Лаборатория "Физико-химической механики коллоидных систем" кафедры высшей математики РГУ Нефти и Газа


Смотреть все материалы

Яндекс.Метрика