Метод спектральной эллипсометрии позволяет исследовать свойства тонких пленок: определять толщину и оптические константы (коэффициент преломления и коэффициент экстинкции/поглощения) для однослойных и многослойных структур, а также исследовать анизотропию, градиент, морфологию, кристалличность, химический состав и электропроводность образцов.
Спектральные эллипсометры HORIBA Scientific используют технологию анализа образцов на базе механически неподвижных модуляторов, так называемый фазово-модуляционный метод анализа, что позволяет достигать наибольшей чувствительности и точности исследований в широком спектральном диапазоне от вакуумного УФ до ИК.
